仪器名称

扫描电子显微镜

仪器型号

Quanta 250，配备EDAX能谱仪

生产厂家

捷克FEI公司

投入使用日期

2012年6月

功能与用途

利用电子束扫描样品表面，通过对二次电子、背散射电子的采集，得到物质微观形貌的信息；通过对特征X射线的采集，得到物质化学成分的信息。采用压差真空技术，可在高真空、低真空和环境真空条件下对样品进行观察和分析。

性能指标

1.        分辨率：3 nm/30 kV (SE)，4 nm/30 kV (BSE)，10 nm/3 kV (SE)

2.        样品室压力：最大2600Pa

3.        加速电压：200V-30KV

安放位置

综合楼B105室

管理人员

胡晓阳